寶德式傳感器,NORM-DIN PG13,5 6-12 EMV IP68 MS
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該式傳感器為 CTA(恒溫風(fēng)速計(jì))
使其與介質(zhì)溫度(由 RT 測得)之間始終保持一個(gè)恒定的溫差。所需的加熱電
流即用于測量流過該氣體通道的氣體流量。
使小部分流量進(jìn)入旁路管道。旁路管道內(nèi)壁上裝有帶膜
電壓差即可用于測量旁路通道內(nèi)流過芯片的氣體的質(zhì)量流量。
該溫度傳感器的熱量、與介質(zhì)直
接接觸,因此具有許多特定的YS,
其中之一就是對(duì)于流量變化的響應(yīng)極快。帶 CMOS 傳感器
工作原理:控制加熱電阻 (RS) 和測量電阻 (RT) 之間
保持一個(gè)恒定的溫差。這兩個(gè)電阻都直接位于氣體通道內(nèi);
的硅芯片,用于測量流量。采用 CMOS 傳感器技術(shù),
在這塊膜上有一個(gè)加熱電阻和兩個(gè)對(duì)稱的
溫度傳感器(分別位于上游和下游)。
此外,該傳感器的結(jié)構(gòu)確保其不易受污染物的影響。
與在主管道中進(jìn)行測量的式傳感器不同,
如使加熱電阻保持在一個(gè)恒定溫度,則兩個(gè)溫度傳感器的
氣體通道中的一個(gè)電阻 (RT) 測量介質(zhì)溫度,另一個(gè)阻值電阻
且靈敏度高,即使流量很小時(shí)也是如此。
另外三個(gè)電阻位于氣體通道之外。這
五個(gè)電阻連接成一個(gè)測量電橋。
MFC 中合適的流量調(diào)節(jié)確保其所測得的質(zhì)量流量非常
。由于加熱電阻和測量電阻都直接位于氣體通道內(nèi),
(RS) 不斷被加熱,
的 MFC 具有100 ms 的響應(yīng)時(shí)間,
所以當(dāng)設(shè)定值或?qū)嶋H值變化時(shí),該傳感
器的響應(yīng)時(shí)間極短,只有幾百毫秒。
CMOS 傳感器是在旁路管道中進(jìn)行測量的。主
管道中的層流元件產(chǎn)生一個(gè)必需的壓差,
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